纳米镀膜设备-汽车配件纳米镀膜设备-拉奇纳米(商家)

微波等离子体化学气相沉积mw-pcvd

微波等离子体的特点是能量大，活性强。激发的亚稳态原子多，纳米镀膜设备，化学反应轻易进行，是一种很有发展前途、用途广泛的新工艺，微波频率为2.45ghz，

微波放电与直流辉光放电相比具有设备结构简单，轻易起辉，耦合，工作稳定，汽车纳米镀膜设备，无气体污染及电极腐蚀，工作频带宽等优点，装置主要由微波发生器、环形器、定向耦合器、表面波导放电部分及沉积室组成。

pcvd的工艺装置由沉积室、反应物输送系统、放电电源、真空系统及检测系统组成。气源需用气体净化器除往水分和其它杂质，经调节装置得到所需要的流量，再与源物质同时被送进沉积室，在一定温度和等离子体等条件下，得到所需的产物，并沉积在工件或基片表面。所以，pcvd工艺既包括等离子体物理过程，又包括等离子体化学反应过程。